Kühlen in der Vakuumkammer
Ziel dieses Projektes ist es, die Temperatur des Substrats während einem Beschichtungsprozess auf einen definierten Wert zu temperieren.
Das Verflüssigermodul wird im Grauraum aufgestellt und der Verdampfer ist als Kühler in der Vakuumkammer der Beschichtungsanlage integriert. Die Vakuumkammer wiederum steht in einem Reinraum. Die Kühlung wird zu Forschungszwecken verwendet, um neue Möglichkeiten in der Beschichtungstechnik zu ergründen.
Wir erweitern somit unsere Kältetechnikkompetenz mit Erfahrungen in der Reinraum- und Vakuumtechnik.
